Mitutoyo顯微鏡模組VMU、FS70各系列中，備有可使用顯微鏡搭載型雷射﹝主要為Nd：YAG雷射基本波（1064 nm）、二次諧振波（532 nm）、三次諧振波（355 nm）、四次諧振波（266 nm）﹞進行雷射加工之機種。支援雷射顯微鏡模組及顯微鏡物鏡所進行之雷射加工以精密加工為目的，故不可照射高輸出雷射。使用雷射前請先確認相關注意事項。
█ 支援雷射顯微鏡模組的雷射輸入條件
請依下表條件決定雷射輸入上限值。此外，入射光學系統中的雷射光束應為平行光，且無偏振。
VMU系列
| 支援機種 | VMU-LB | VMU-L4B | |||||
| 使用波長（nm） | 1064 | 532 | 355 | 1064 | 532 | 355 | 266 |
|
脈衝雷射輸入上限（J/cm2） 脈衝寬度（10 ns） |
0.099 | 0.075 | 0.025 | 0.11 | 0.080 | 0.035 | 0.015 |
|
連續振盪（CW）雷射 輸入上限值（kW/cm2） |
0.22 | 0.18 | 0.07 | 0.2 | 0.19 | 0.05 | 0.05 |
FS70系列
| 支援機種 | FS70L | FS70L4 | |||
| 使用波長（nm） | 1064 | 532 | 355 | 532 | 266 |
|
脈衝雷射輸入上限（J/cm2） 脈衝寬度（10 ns） |
0.090 | 0.075 | 0.018 | 0.075 | 0.015 |
|
連續振盪（CW）雷射 輸入上限值（kW/cm2） |
0.23 | 0.18 | 0.06 | 0.2 | 0.05 |
█ 物鏡的雷射輸入上限值
若需直接將雷射入射至物鏡，請依下表條件決定雷射輸入上限值。
此外，入射光學系統中的雷射光束應為平行光。
| 適用物鏡 | NIR系列 |
NIR系列 NUV系列 UV系列
|
NUV系列 | UV系列 |
| 使用波長（nm） | 1064 | 532 | 355 | 266 |
|
脈衝雷射輸入上限（J/cm2） 脈衝寬度（10 ns） |
0.2 | 0.1 | 0.05 | 0.04 |
|
連續振盪（CW）雷射 輸入上限值（kW/cm2） |
0.5 | 0.25 | 0.16 | 0.12 |
註解：若雷射脈衝寬度縮短，請按照脈衝寬度比例的平方根下調照射能量密度。
例）脈衝寬度縮短1/4時，能量密度則需降為1/2。
使用波長1064 nm、脈衝寬度2.5 ns的雷射光時，輸入上限值為0.1（J/cm2）。